布魯克InSight CAP自動原子力顯微鏡

InSight CAP緊湊型原子探查器

基于生產(chǎn)的深度計量

布魯克的InSight CAP自動原子力輪廓儀專門設(shè)計用于半導(dǎo)體制造商和供應(yīng)商的CMP和蝕刻計量的組合平臺。InSight CAP系統(tǒng)具有300毫米自動處理功能和久經(jīng)考驗的GEM工廠自動化軟件。

InSight CAP提供

• CMP和蝕刻的行業(yè)的精度和分辨率
• 無需模型的無損計量
• 在線計量只需幾分鐘即可完成，適用于技術(shù)開發(fā)
• 占地面積小，配置靈活，可實現(xiàn)擁有成本

布魯克InSight CAP自動原子力顯微鏡計量

在*技術(shù)節(jié)點上，利用多圖案光刻技術(shù)對CMP提出了納米工藝控制要求，以滿足聚焦深度的需求。InSight CAP圍繞一代的AFM掃描儀構(gòu)建，可在65μmX / Y掃描范圍內(nèi)提供小于10納米的改進(jìn)平面度。該系統(tǒng)的NanoScope®V 64位AFM控制器提供5倍的接合性能和5倍的調(diào)諧速度，以提高生產(chǎn)率，同時還具有增強(qiáng)的可靠性。其DT自適應(yīng)掃描模式還有助于加快掃描速度并改善計量。憑借其*功能的結(jié)合，InSight CAP高分辨率輪廓儀可實現(xiàn)埃級精度，以測量宏觀凹陷和腐蝕。

價值平臺

靈活的配置可支持100毫米至300毫米的晶圓尺寸，從而可以針對各種終應(yīng)用進(jìn)行精確測量。從高效的實驗室到全自動的晶圓廠，InSight CAP Profiler可以針對經(jīng)濟(jì)高效的計量解決方案進(jìn)行配置。